Three-component microelectromechanical accelerometer
20160628d2015 k y0engy50 ba
труды учёных ТПУ
электродная структура
макромодели
микромеханические акселерометры
модальный анализ
труды учёных ТПУ
электродная структура
макромодели
микромеханические акселерометры
модальный анализ