APA

Просолов К. А., Сулиз К. В. & Шаркеев Ю. П.Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W. : .

Chicago

Просолов К А, Сулиз К В and Шаркеев Ю П.Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W. : .

Harvard

Просолов К. А., Сулиз К. В. and Шаркеев Ю. П.Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W. : .

MLA

Просолов К А, Сулиз К В and Шаркеев Ю П.: . .