Effect of the anisotropy of monocrystalline silicon mechanical properties on the dynamic characteristics of a micromechanical gyroscope

20150827a2015 k y0engy50 ba

- Title screen


электронный ресурс
труды учёных ТПУ
анизотропия
монокристаллический кремний
динамические характеристики
гироскопы