Metrological performance of integrated multiple axis MEMS accelerometers under thermal effect
20171107d2015 k y0engy50 ba
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
МЭМС-акселерометры
упругие подвески
движущиеся массы
температурная чувствительность
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
МЭМС-акселерометры
упругие подвески
движущиеся массы
температурная чувствительность