Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions

20180419a2017 k y0engy50 ba

- Title screen


электронный ресурс
труды учёных ТПУ
микроструктура
магнетронное распыление
ионное облучение
пузырьки