Development and Study of the Properties of Impact-Resistant Ceramic Nanocomposite Coatings for Silicon
20211214a2020 k y0engy50 ba
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
pulsed magnetron sputtering
protective coatings
optically transparent coatings
crack resistance
impact resistance
магнетронные напыления
защитные покрытия
трещиностойкость
ударопрочность
керамические покрытия
- Title screen
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
pulsed magnetron sputtering
protective coatings
optically transparent coatings
crack resistance
impact resistance
магнетронные напыления
защитные покрытия
трещиностойкость
ударопрочность
керамические покрытия