Development and Study of the Properties of Impact-Resistant Ceramic Nanocomposite Coatings for Silicon

20211214a2020 k y0engy50 ba

- Title screen


электронный ресурс
труды учёных ТПУ
pulsed magnetron sputtering
protective coatings
optically transparent coatings
crack resistance
impact resistance
магнетронные напыления
защитные покрытия
трещиностойкость
ударопрочность
керамические покрытия