Effects of Film Thickness of ALD-Deposited Al2O3, ZrO2 and HfO2 Nano-Layers on the Corrosion Resistance of Ti(N,O)-Coated Stainless Steel

20230310a2023 k y0engy50 ba

- Title screen


электронный ресурс
труды учёных ТПУ
atomic layer deposition
oxides
oxynitride
corrosion resistance
осаждение
атомарные примеси
оксиды
оксинитриды
устойчивость
коррозии