Cleaning and sputtering using planar acoustoplasma magnetron (Запись № 580795)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 02955naa2a2200493 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030032741.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\prd\280668 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\prd\280667 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20181022a2018 k y0rusy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | Россия |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Cleaning and sputtering using planar acoustoplasma magnetron |
| Первые сведения об ответственности | A. S. Abrahamyan, A. H. Mkrtchyan, V. V. Nalbandyan [et al.] |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 215 ## - Физические характеристики | |
| Сведения об объеме | 1 файл(5152 Кб) |
| 230 ## - | |
| -- | Электронные текстовые данные (1 файл: 5152 Кб) |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: p. 13 (17 tit.)] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | The paper describes the obtained experimental results for a planar acoustoplasma magnetron. The small radius of the anode loopallows focusing and accelerating the ionic component of the sprayed material.Argon was used as a buffer gas. The characteristics of the magnetron in case of direct current supply and in acoustoplasma mode(AP) (with modulated current containing constant and variable components) are compared. The sputtering speed in AP modeincreases. For the copper cathode, the gas pressure made < 1 Pa and current density of the order of 100 mA/cm2with increasingdistance from the anode to the deposited substrate from 2 to 4 cm in case of DC supply, the deposition speed drops 3.3 times (from17 to 5 nm/s), in the acoustoplasma mode – 2 times (from 13 to 6.4 nm/s).For the anode-substrate distance 4 cm, the gain in the deposition speed in the AP mode, compared with DC is 1.2–1.5 times. Thedependences of ion and electron currents on the substrate for different discharge parameters were measured. The study was basedon a scheme with two potential grids with fixed and variable potentials. The possibility of forming an annular vapor-plasma flowof fast particles is shown. |
| 461 #1 - Уровень набора | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\prd\247369 |
| Международный стандартный сериальный номер (ISSN) | 2405-6537 |
| Заглавие | Resource-Efficient Technologies |
| Сведения, относящиеся к заглавию | electronic scientific journal |
| Первые сведения об ответственности | National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) |
| Дата публикации | 2015- |
| 463 #1 - Уровень физической единицы | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\prd\280666 |
| Заглавие | No 3 |
| Обозначение тома | [P. 7-13] |
| Дата публикации | 2018 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | распыление |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | магнетроны |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | плазма |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | технологии |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Abrahamyan |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. S. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Mkrtchyan |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. H. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Nalbandyan |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. V. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Hovhannisyan |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | N. T. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Chilingaryan |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | R. Yu. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Hakobyan |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. S. |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Mossoyan |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | P. H. |
| 801 #1 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20090623 |
| Правила каталогизации | PSBO |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20220418 |
| Правила каталогизации | PSBO |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://www.ojs.tpu.ru/index.php/res-eff/article/view/197/183 |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51444 |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | https://doi.org/10.18799/24056537/2018/3/197 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 580795 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Books |
Нет доступных единиц.