Change Spectrum Characteristics Modification of Films Deposited by Magnetron Sputtering with the Assistance of Argon Ions Beam (Запись № 642935)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03492nla2a2200457 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030040520.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\7923 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\7298 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20150825a2015 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | |
| 105 ## - Поле кодированных данных: текстовые ресурсы, монографические | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | y z 100zy |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Change Spectrum Characteristics Modification of Films Deposited by Magnetron Sputtering with the Assistance of Argon Ions Beam |
| Первые сведения об ответственности | S. P. Umnov, O. Kh. Asainov |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 11 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Thin aluminum films were prepared using the method of magnetron sputtering with and without argon ion beam assistance. The influence of argon ion beam on the reflectivity in the UV range and the structure of aluminum films was studied. The structure of the films was studied by transmission electron microscopy (TEM), X-ray diffractometry (XRD) and atomic-force microscope (AFM). The study has shown that the films deposed with the assistance of the argon ion beam have more significant microstresses associated with an increase of crystallites microstructure defects as compared to the films deposed without ion assistance. Comparison of the measured reflectivity of aluminum films deposed without and with the assistance of the ion beam has shown that the films characterized by a higher level of microstructure def ects have increased reflectivity in the UV range. The studies suggest that the defects of thin aluminum films crystal structure influence its optical properties. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 337 ## - Примечание о системных требованиях (электронные ресурсы) | |
| Текст примечания | Adobe Reader |
| 461 #1 - Уровень набора | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\2008 |
| Заглавие | IOP Conference Series: Materials Science and Engineering |
| 463 #1 - Уровень физической единицы | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\7891 |
| Заглавие | Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials |
| Сведения, относящиеся к заглавию | International Scientific Conference, 3-8 November 2014, Tomsk, Russia |
| -- | [proceedings] |
| Обозначение тома | [012001, 5 p.] |
| Дата публикации | 2015 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | спектры |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | пленки |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | магнетронное распыление |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | ионы аргона |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | просвечивающая электронная микроскопия |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | рентгеновская дифрактометрия |
| 700 #1 - Имя лица – первичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Umnov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | S. P. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Senior researcher of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences |
| Даты | 1957- |
| Расширение инициалов личного имени | Sergey Pavlovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34215 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Asainov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | O. Kh. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Head of the laboratory of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences |
| Даты | 1957- |
| Расширение инициалов личного имени | Oleg Khaydarovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34632 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |
| Структурное подразделение | Физико-технический институт (ФТИ) |
| -- | Кафедра технической физики (№ 23) (ТФ) |
| -- | Лаборатория № 16 |
| -- | 6468 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\19671 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20161212 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/81/1/012001 |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14685 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 642935 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.