Magnetron deposition of TCO films using ion beam (Запись № 644620)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03323nla2a2200493 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030040625.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\9703 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\9702 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20151123a2015 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | |
| 105 ## - Поле кодированных данных: текстовые ресурсы, монографические | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | y z 101zy |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Magnetron deposition of TCO films using ion beam |
| Первые сведения об ответственности | O. Kh. Asainov, S. P. Umnov, A. Chinin |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 12 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Thin films of tin oxide (TO) were deposited on the glass substrates at room temperature using reactive magnetron sputtering at various oxygen partial pressures. After the deposition the films were irradiated with argon ions beam. The change of the optical and electrical properties of the films depending on the irradiation time was studied. Films optical properties in the range of 300-1100 nm were investigated by photometry as well as their structural properties were studied using X-ray diffraction. Diffractometric research showed that the films, deposited on a substrate, have a crystal structure, and after argon ions irradiation they become quasi-crystalline (amorphous). It was found that the transmission increases proportionally with the irradiation time, but the surface resistance -disproportionally. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 461 #1 - Уровень набора | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\3526 |
| Заглавие | Journal of Physics: Conference Series |
| 463 #0 - Уровень физической единицы | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\9636 |
| Заглавие | Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015) |
| Сведения, относящиеся к заглавию | 12th International Conference, 6–11 September 2015, Tomsk, Russia |
| -- | [proceedings] |
| Обозначение тома | [012046, 4 p.] |
| Дата публикации | 2015 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | магнетронное осаждение |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | ионные пучки |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | тонкие пленки |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | магнетронные напыления |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | оптические свойства |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | рентгеновские лучи |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | дифракция |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | кристаллические структуры |
| 700 #1 - Имя лица – первичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Asainov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | O. Kh. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Head of the laboratory of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences |
| Даты | 1957- |
| Расширение инициалов личного имени | Oleg Khaydarovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34632 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Umnov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | S. P. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Senior researcher of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences |
| Даты | 1957- |
| Расширение инициалов личного имени | Sergey Pavlovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34215 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Chinin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |
| Структурное подразделение | Физико-технический институт (ФТИ) |
| -- | Кафедра технической физики (№ 23) (ТФ) |
| -- | 52 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\18732 |
| 801 #1 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20151005 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20161122 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 40 - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/652/1/012046 |
| 856 40 - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/18225 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 644620 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.