Floating harmonic probe measurements in the low-temperature plasma jet deposition system (Запись № 657800)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 02904nlm1a2200457 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030041526.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\24575 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\20260 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20180322a2017 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Floating harmonic probe measurements in the low-temperature plasma jet deposition system |
| Первые сведения об ответственности | M. Zanaska, Hubicka Zdenek, M. Cada [et al.] |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 36 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | The floating harmonic probe is a relatively new plasma diagnostic method, which was proposed for applications at conditions when insulating films are deposited on the probe and, consequently, the classical Langmuir probe method fails. In the floating harmonic probe method a purely sinusoidal AC voltage is applied to the probe constructed in a standard manner via a capacitor. From the spectral components of the measured AC probe current waveforms, the electron temperature and the positive ion density can be obtained. In this contribution we present the comparison of the electron temperature and density acquired by the floating harmonic probe method with those obtained by the classical Langmuir probe. The experiments are performed in the flowing DC discharge in argon. In addition, the results from the floating harmonic probe method obtained during deposition of an insulating iron oxide thin film are shown. All the data is complemented by the qualitative discussion. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Journal of Physics D: Applied Physics |
| Дата публикации | 1950- |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Vol. 51 |
| Обозначение тома | [9 p., 025205] |
| Дата публикации | 2017 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | plasma |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | cathode |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | плазма |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | зонды |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | полые катоды |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | низкотемпературные системы |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | струйное напыление |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Zanaska |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | M. |
| 701 #0 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Hubicka Zdenek |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Cada |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | M. |
| Расширение инициалов личного имени | Martin |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Kudrna |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | P. |
| Расширение инициалов личного имени | Pavel |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Tichy |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | M. |
| Дополнения к именам, кроме дат | chemist |
| -- | Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences |
| Даты | 1947- |
| Расширение инициалов личного имени | Milan |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\35771 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Инженерная школа ядерных технологий |
| -- | Отделение ядерно-топливного цикла |
| -- | 7864 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23554 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20210616 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa9d3b |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 657800 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.