Generation of boron ion beams by vacuum arc and planar magnetron ion sources (Запись № 662572)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03238nlm1a2200505 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030041825.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\33727 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\33078 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20200904a2019 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Generation of boron ion beams by vacuum arc and planar magnetron ion sources |
| Первые сведения об ответственности | A. V. Bugaev, V. P. Frolova, V. I. Gushenets [et al.] |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 20 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Boron ions can be implanted not only in semiconductors such as silicon wafers but also in other materials and metal products, e.g., machine parts and tools, to increase their surface properties and therefore lifetime. The purity of boron ion beams for these purposes is not so critical as for semiconductor technologies. Here, we present experimental results on the generation of pulsed boron ion beams in vacuum arc and planar magnetron ion sources with pure boron and lanthanum hexaboride cathodes with emphasis on the mass-charge state composition of the ion beams. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Review of Scientific Instruments |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Vol. 90, iss. 10 |
| Обозначение тома | [103302, 4 p.] |
| Дата публикации | 2019 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | генерация |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | ионы бора |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | вакуумные дуги |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | планарные технологии |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Bugaev |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. V. |
| Расширение инициалов личного имени | Aleksey Vladimirovich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Frolova |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. P. |
| Расширение инициалов личного имени | Valeriya Petrovna |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Gushenets |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. I. |
| Расширение инициалов личного имени | Vasily Ivanovich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Nikolaev |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. G. |
| Расширение инициалов личного имени | Aleksey Gennadjevich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Oks |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | E. M. |
| Расширение инициалов личного имени | Efim Mikhaylovich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Savkin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | K. P. |
| Расширение инициалов личного имени | Konstantin Petrovich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Shandrikov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | M. V. |
| Расширение инициалов личного имени | Maksim Valentinovich |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Vizir |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. |
| Расширение инициалов личного имени | Alexey |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Yushkov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. Yu. |
| Дополнения к именам, кроме дат | specialist in the field of electricity |
| -- | associate Professor of Tomsk Polytechnic University, candidate of technical Sciences |
| Даты | 1975- |
| Расширение инициалов личного имени | Anatoly Yurievich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\35549 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Кадлубович |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | Б. Е. |
| Дополнения к именам, кроме дат | специалист в области ядерных технологий |
| -- | доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук, директор центра управления контингентом студентов |
| Даты | 1965- |
| Расширение инициалов личного имени | Борис Евгеньевич |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\26481 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Yushkov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | G. Yu. |
| Расширение инициалов личного имени | Georgy Yurjevich |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Инженерная школа энергетики |
| -- | Отделение электроэнергетики и электротехники (ОЭЭ) |
| -- | 8022 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23505 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20200904 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | https://doi.org/10.1063/1.5125704 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 662572 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.