Study of argon ions density and electron temperature and density in magnetron plasma by optical emission spectroscopy and collisional-radiative model (Запись № 666943)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03339n m1a2200373 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030042054.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\38147 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20220208d2017 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drcn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Study of argon ions density and electron temperature and density in magnetron plasma by optical emission spectroscopy and collisional-radiative model |
| Первые сведения об ответственности | K. E. Evdokimov, M. E. Konishchev, V. F. Pichugin, Sun Zhilei |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 23 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | Optical emission spectroscopy (OES) combined with the models of plasma light emission becomes non-intrusive and versatile method of plasma parameters determination. In this paper we have studied the densities of charge carriers and electron temperature in Ar plasma of pulsed DC magnetron in different experimental conditions. Electron density and temperature were determined by fitting of relative emission line intensities calculated from collisional-radiative model (CRM) to experimental ones. The model describes the kinetics of the first 40 excited states of neutral argon Ar and takes into account the following processes: electron impact excitation/deexcitation, spontaneous light emission, radiation trapping, electron impact ionization, and metastable quenching due to diffusion to walls. Then, ions density was determined from relative intensity of 488 nm Ar+ emission line and simple CRM accounting excitation from ground states of neutral Ar and ion Ar+. The values of electron and ion density agree very well. To test the stability of results, we performed Monte-Carlo calculations with random variation of experimental spectrum as well as of excitation cross-sections and estimated confidence intervals and errors for plasma parameters. Also, we validated OES study by comparison with Langmuir probe measurements. The agreement between optical and probe techniques is satisfactory. |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Resource-Efficient Technologies |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Vol. 3, iss. 2 |
| Обозначение тома | [P. 187-193] |
| Дата публикации | 2017 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | magnetron plasma diagnostics |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | OES |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | CRM |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Evdokimov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | K. E. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Senior Lecturer of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences |
| Даты | 1976- |
| Расширение инициалов личного имени | Kirill Evgenievich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\31791 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Konishchev |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | M. E. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | engineer of Tomsk Polytechnic University, post graduate |
| Даты | 1987- |
| Расширение инициалов личного имени | Maksim Evgenievich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\34212 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Pichugin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. F. |
| Дополнения к именам, кроме дат | Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences |
| -- | Physicist |
| Даты | 1944- |
| Расширение инициалов личного имени | Vladimir Fyodorovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\30933 |
| 701 #0 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Sun Zhilei |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |
| Идентифицирующий признак | (2017- ) |
| -- | 8118 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20220208 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | https://doi.org/10.1016/j.reffit.2017.04.002 |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 666943 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Books |
Нет доступных единиц.