Radioactivation Monitoring of the Density of Wear-Resistant AlN and CrN Coatings on Silicon (Запись № 667310)
[ простой вид ]
| 000 -Маркер | |
|---|---|
| Поле контроля фиксированной длины | 03730nlm1a2200481 4500 |
| 005 - Идентификатор версии | |
| Поле контроля фиксированной длины | 20231030042106.0 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | (RuTPU)RU\TPU\network\38515 |
| 035 ## - Другие системные номера | |
| Идентификатор записи | RU\TPU\network\37711 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20220315a2021 k y0engy50 ba |
| 101 0# - Язык ресурса | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| 135 ## - Поле кодированных данных: электронные ресурсы | |
| Кодированные данные для электронного ресурса | drgn ---uucaa |
| 181 #0 - Поле кодированных данных: вид содержания | |
| Код вида содержания | i |
| 182 #0 - Поле кодированных данных: средство доступа | |
| Код средства доступа | electronic |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Radioactivation Monitoring of the Density of Wear-Resistant AlN and CrN Coatings on Silicon |
| Первые сведения об ответственности | V. A. Ryzhkov, V. A. Tarbokov, E. A. Smolyansky, G. E. Remnev |
| 203 ## - Вид содержания и средство доступа | |
| Вид содержания | |
| Средство доступа | |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Title screen |
| 320 ## - Примечания о наличии в ресурсе библиографии/указателя | |
| Текст примечания | [References: 5 tit.] |
| 330 ## - Резюме или реферат | |
| Текст примечания | A combination of two methods (nondestructive proton beam radioactivation analysis and optical microinterferometry) has been used for measuring the mass and linear thicknesses of AlN and CrN coatings deposited onto silicon substrates by means of magnetron sputtering. It is established that, at linear thickness from 2.2 to 5.7 μm, the density of deposits is close to that of bulk materials (3.26 g/cm3 for AlN and 5.9 g/cm3 for CrN), while the stoichiometry of nitrides can be controlled by varying the parameters of magnetron sputtering. The proposed method can also be used for determining the densities of metal carbide and oxide films used as wear-resistant coatings. |
| 333 ## - Примечания об особенностях распространения и использования | |
| Текст примечания | |
| 338 ## - Примечание, относящееся к информации о финансировании | |
| Финансирующая организация | Российский фонд фундаментальных исследований |
| Номер проекта | 20-21-00025/20 |
| 461 ## - Уровень набора | |
| Заглавие | Technical Physics Letters |
| 463 ## - Уровень физической единицы | |
| Заглавие | Vol. 47, iss. 7 |
| Обозначение тома | [P. 524-527] |
| Дата публикации | 2021 |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | электронный ресурс |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | труды учёных ТПУ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | density |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | radioactivation analysis |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | magnetron |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | microinterferometer |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | плотность |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | радиоактивный анализ |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | магнетроны |
| 610 1# - Неконтролируемые предметные термины | |
| Предметный термин | износостойкие покрытия |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Ryzhkov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. A. |
| Дополнения к именам, кроме дат | specialist in nuclear physics |
| -- | Senior Researcher, Tomsk Polytechnic University, Candidate of Physical and Mathematical Sciences |
| Даты | 1958- |
| Расширение инициалов личного имени | Vladislav Andreevich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\44020 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Tarbokov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | V. A. |
| Дополнения к именам, кроме дат | specialist in the field of material science |
| -- | Leading engineer of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences |
| Даты | 1969- |
| Расширение инициалов личного имени | Vladislav Aleksandrovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\41878 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Smolyansky |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | E. A. |
| Дополнения к именам, кроме дат | Physicist |
| -- | Research Engineer of Tomsk Polytechnic University |
| Даты | 1985- |
| Расширение инициалов личного имени | Egor Aleksandrovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\37673 |
| 701 #1 - Имя лица – альтернативная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Remnev |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | G. E. |
| Дополнения к именам, кроме дат | physicist |
| -- | Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of technical sciences |
| Даты | 1948- |
| Расширение инициалов личного имени | Gennady Efimovich |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\pers\31500 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |
| Идентифицирующий признак | (2017- ) |
| -- | 8118 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 712 02 - Наименование организации – вторичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Структурное подразделение | Инженерная школа новых производственных технологий |
| -- | Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий" |
| -- | 7882 |
| -- | stltpush |
| Идентификатор авторитетной/ нормативной записи | (RuTPU)RU\TPU\col\23502 |
| 801 #2 - Источник записи | |
| Страна | RU |
| Организация | 63413507 |
| Дата составления | 20220315 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 856 4# - Местонахождение электронных ресурсов и доступ к ним | |
| Универсальный идентификатор ресурса | https://doi.org/10.1134/S106378502105028X |
| 090 ## - System Control Numbers (Koha) | |
| Koha biblioitem number (autogenerated) | 667310 |
| 942 ## - Добавленные элементы ввода (Коха) | |
| Тип документа | Computer Files |
Нет доступных единиц.