Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током [Электронный ресурс] / А. Г. Горюнов [и др.]
Уровень набора: (RuTPU)RU\TPU\book\176237, Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] / Томский политехнический университет (ТПУ) = 2000-Язык: русский.Страна: Россия.Описание: 1 файл (459 Кб)Серия: Управление, вычислительная техника и информатикаРезюме или реферат: Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника..Примечания о наличии в документе библиографии/указателя: [Библиогр.: с. 233 (8 назв.)].Тематика: Siemens-реакторы | поликристаллический кремний | математическое моделирование | источники | переменный ток | системы автоматического управления | труды учёных ТПУ | электронный ресурс Ресурсы он-лайн:Щелкните здесь для доступа в онлайнНет реальных экземпляров для этой записи
Заглавие с титульного листа
Электронная версия печатной публикации
[Библиогр.: с. 233 (8 назв.)]
Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника.
Adobe Reader
Для данного заглавия нет комментариев.
Личный кабинет оставить комментарий.