Effect of working gas on the deposition rate of CaP coatings formed by radio frequency magnetron sputtering of a hydroxyapatite target / A. Yu. Fedotkin, A. I. Kozelskaya, S. I. Tverdokhlebov

Уровень набора: (RuTPU)RU\TPU\network\3526, Journal of Physics: Conference SeriesОсновной Автор-лицо: Fedotkin, A. Yu., physicist, engineer of Tomsk Polytechnic University, 1994-, Aleksandr YurjevichАльтернативный автор-лицо: Kozelskaya, A. I., physicist, Assistant of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences, 1985-, Anna Ivanovna;Tverdokhlebov, S. I., physicist, Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical science, 1961-, Sergei IvanovichКоллективный автор (вторичный): Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа ядерных технологий, Научно-образовательный центр Б. П. ВейнбергаЯзык: английский.Страна: .Резюме или реферат: This study is dedicated to the influence of the inert working gas on the deposition rate of CaP coatings formed by radio frequency magnetron sputtering of a hydroxyapatite target in Ar, Kr and Xe. The optical emission spectra of plasma, the elemental and phase composition of the formed coatings are investigated. The deposition rates of the CaP coatings formed in Ar and Kr are approximately comparable and higher than ones formed in Xe..Примечания о наличии в документе библиографии/указателя: [References: 7 tit.].Тематика: электронный ресурс | труды учёных ТПУ | скорости | осаждение | рабочий газ Ресурсы он-лайн:Щелкните здесь для доступа в онлайн
Тэги из этой библиотеки: Нет тэгов из этой библиотеки для этого заглавия. Авторизуйтесь, чтобы добавить теги.
Оценка
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Нет реальных экземпляров для этой записи

Title screen

[References: 7 tit.]

This study is dedicated to the influence of the inert working gas on the deposition rate of CaP coatings formed by radio frequency magnetron sputtering of a hydroxyapatite target in Ar, Kr and Xe. The optical emission spectra of plasma, the elemental and phase composition of the formed coatings are investigated. The deposition rates of the CaP coatings formed in Ar and Kr are approximately comparable and higher than ones formed in Xe.

Для данного заглавия нет комментариев.

оставить комментарий.