элементарные частицы поля TRACKS PIC-код методы исследования закон Чайльда-Ленгмюра биополярные вакуумные диоды заряженные частицы пучки транспортировка лабораторные работы учебные пособия труды учёных ТПУ микроэлектроника электроника микроволновая электроника