TY - BOOK AU - Симонов, Б. М. AU - Заводян, А. В. AU - Тимошенков, С. П. ED - Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ) TI - Технологические основы микроэлектроники PY - 2008/// CY - Москва PB - МИЭТ ER -