TY  - ELEC
AU  - Panin, A. V.
ED  - Tomsk Polytechnic University (TPU)
TI  - Thin Films and Multilayers for Electronics
PY  - 2009///
CY  - Tomsk
PB  - TPU Publishing House
KW  - Пленки тонкие
KW  - Электронные процессы
KW  - stltpush
KW  - (RuTPU)RU\TPU\subj\49239
KW  - thin films
KW  - Multilayers
KW  - electronics
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
KW  - английский язык
KW  - 539.216.2(075.8)
KW  - 3
UR  - http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2009/m164.pdf
ER  -