20100317d2009    k  y0rusy50      ca <br/><br/>
 - Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>поликристаллический кремний<br/>Siemens-реактор<br/>CVD-метод<br/>алгоритмы управления<br/>системы автоматизированного управления<br/>труды учёных ТПУ<br/>электронный ресурс