TY  - ELEC
AU  - Козин, К. А.
AU  - Горюнов, А. Г.
AU  - Ливенцов, С. Н.
AU  - Гаврилов, П. М.
AU  - Ревенко, Ю. А.
TI  - Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
T2  - Управление, вычислительная техника и информатика
KW  - поликристаллический кремний
KW  - Siemens-реактор
KW  - CVD-метод
KW  - алгоритмы управления
KW  - системы автоматизированного управления
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
N2  - [Библиогр.: с. 74 (10 назв.)]
UR  - http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i5/14.pdf
ER  -