TY  - ELEC
AU  - Ananyin, P. S.
AU  - Asainov, O. Kh.
AU  - Bainov, D. D.
AU  - Bleykher (Bleicher), G. A.
AU  - Zhukov, V. V.
AU  - Zorkalcev, A. A.
AU  - Krivobokov, V. P.
AU  - Kosicin, L. G.
AU  - Legostayev, V. N.
AU  - Merkulov, S. V.
AU  - Mikhailov, M. N.
AU  - Nechaev, M. A.
AU  - Noskova, T. G.
AU  - Paschenko, O. V.
AU  - Puzyrevich, A. G.
AU  - Umnov, S. P.
AU  - Yudakov, S. V.
AU  - Yanin, S. N.
TI  - A Plasma System for Low-Emissive Coating Deposition
T2  - Coating deposition
KW  - физика
KW  - плазменные системы
KW  - Opal
KW  - тонкие пленки
KW  - теплоотражающие покрытия
KW  - осаждение
KW  - поверхности
KW  - магнетронные разряды
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
N2  - [References: p. 442 (4 tit.)]
UR  - http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/c/2004/C13/049.pdf
ER  -