TY  - ELEC
AU  - Struts, V. K.
AU  - Matvienko, V. M.
AU  - Petrov, A. V.
AU  - Ryabchikov, A. I.
AU  - Shlapakovski, A. S.
TI  - Mechanical Properties of Titanium Films Deposited by Pulsed High-Power Ion Beams
T2  - Coating deposition
KW  - физика
KW  - плазма
KW  - титан
KW  - механические свойства
KW  - тонкие пленки
KW  - ионные пучки
KW  - импульсные пучки
KW  - мощные пучки
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
N2  - [References: p. 468 (10 tit.)]
UR  - http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/c/2004/C13/051.pdf
ER  -