TY  - BOOK
AU  - Jones, T. B.
AU  - Nenadic, N.
TI  - Electromechanics and MEMS
SN  - 9780521764834
PY  - 2013///
CY  - Cambridge
PB  - Cambridge University Press
KW  - Ð­Ð»ÐµÐºÑÑÐ¾Ð¼ÐµÑÐ°Ð½Ð¸ÐºÐ°
KW  - stltpush
KW  - (RuTPU)RU\TPU\subj\20251
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KW  - MEMS
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KW  - 621.3(075.8)
KW  - 3
N2  - Index: p. 552-559
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