20140327d2013    k  y0engy50      ba <br/><br/>
 = 
<br/><br/><label>LCCN: </label>9781466509542 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>микроэлектронные устройства<br/>материалы<br/>производство<br/>микроэлектромеханические системы<br/>микроэлектронная технология<br/>английский язык