TY - BOOK AU - Kaul, A. B. TI - Microelectronics to Nanoelectronics: Materials, Devices & Manufacturability SN - 9781466509542 PY - 2013/// CY - New York PB - Taylor & Francis Group, CRC Press KW - Микроэлектроника KW - stltpush KW - (RuTPU)RU\TPU\subj\43811 KW - Наноэлектроника KW - (RuTPU)RU\TPU\subj\58929 KW - микроэлектронные устройства KW - материалы KW - производство KW - микроэлектромеханические системы KW - микроэлектронная технология KW - английский язык KW - 621.382.049.77 KW - 3 KW - 621.382:53 N2 - Index: p. 387-407 ER -