TY  - ELEC
AU  - Гаврилов, С. А.
AU  - Белов, А. Н.
TI  - Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
T2  - Электронные учебники издательства "Юрайт"
SN  - 9785969203044
PY  - 2009///
CY  - Москва
PB  - Высшее образование
KW  - Электрохимия
KW  - stltpush
KW  - (RuTPU)RU\TPU\subj\21014
KW  - CD-ROM
KW  - учебные пособия
KW  - электродные процессы
KW  - анодное растворение
KW  - микроструктуры
KW  - наноструктуры
KW  - анодные оксидные пленки
KW  - полупроводники
KW  - твердотельные наноструктуры
KW  - катодное осаждение
KW  - 544.6(075.8)
KW  - 3
N2  - Библиогр.: с. 256-257
UR  - http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2014/FN/fn-14.pdf
ER  -