TY  - ELEC
AU  - Васильев, В. А.
AU  - Хошев, А. В.
ED  - Пензенский государственный университет (ПГУ)
ED  - Пензенский государственный университет (ПГУ)
TI  - Условие получения однородных наноразмерных резистивных плёнок Ni-Ti методом магнетронного распыления из двух источников
KW  - электронный ресурс
KW  - наноразмерные пленки
KW  - резистивные пленки
KW  - никель
KW  - титан
KW  - магнетронное распыление
KW  - воспроизводимость
KW  - датчики
KW  - электронные приборы
KW  - nanoscale film
KW  - resistive film
KW  - Ni-Ti
KW  - magnetron sputtering
KW  - reproducibility
KW  - sensors
KW  - electronic devices
N2  - [Библиогр.: с. 177-178 (23 назв.)]
UR  - http://earchive.tpu.ru/bitstream/11683/5333/1/bulletin_tpu-2014-325-2-23.pdf
ER  -