TY - BOOK AU - Boenig, H. V. TI - Plasma science and technology PY - 1982/// CY - Munchen PB - Carl Hanser Verlag KW - Плазма KW - Физика KW - stltpush KW - (RuTPU)RU\TPU\subj\48885 KW - компоненты KW - виды KW - физические процессы KW - реакции KW - синтез KW - плазменная полимеризация KW - пленки KW - осаждение KW - структура KW - свойства KW - технологии KW - применение KW - английский язык KW - 533.9 KW - 4 N2 - Index: p. 297-299; bibliography at the end of chapters ER -