20150626d1981 km y0engy50 ba = Subjects--Corporate Names: распылениеприкладная физикачастицыбомбардировкаионымонокристаллыкоэффициентыизмерениемонокристаллические твердые телаполикристаллические телаисследованияэкспериментыприменениеанглийский язык