TY  - ELEC
AU  - Nihtianov, S.
AU  - Luque, A.
TI  - Smart sensors and MEMS
PY  - 2014///
CY  - Oxford
PB  - Woodhead Publishing Limited
KW  - Датчики
KW  - В системах регулирования
KW  - stltpush
KW  - (RuTPU)RU\TPU\subj\4835
KW  - электронный ресурс
KW  - интеллектуальные датчики
KW  - МЭМС-устройства
KW  - микросистемы
KW  - датчики
KW  - 681.586
KW  - 3
UR  - http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Smart%20Sensors%20and%20Mems_2014.pdf
ER  -