TY - BOOK AU - Yudelevich, I. G. AU - Shelpakova, I. P. TI - A complex of spectrochemical, mass-spectrometric and atomic-absorption methods for the analysis of thin layers of gallium arsenide and silicon semiconductors T2 - Mikrochimica Acta VL - № 1, 1978 PY - 1978/// CY - Vienna PB - Springer-Verlag KW - Спектральный анализ, атомно-абсорбционный KW - stltpush KW - (RuTPU)RU\TPU\subj\73702 KW - аналитическая химия KW - анализ KW - методы KW - полупроводники KW - химическое травление KW - травильные растворы KW - арсенид галлия KW - английский язык KW - библиотека А. Г. Стромберга KW - 543.422 KW - 4 N2 - Bibliography at the end of articles ER -