нанобалка Эйлера-Бернулли наноэлектромеханические системы акселерометры измерения параметры буровые скважины температурные поля шумовые поля теория упругости метод конечных разностей хаотические колебания чувствительные элементы датчики метод Ньюмарка электронный ресурс труды учёных ТПУ Euler-Bernoulli nanobeam nanoelectromechanical system accelerometer for measuring borehole parameters temperature and noise fields modified couple stress theory of elasticity finite difference and Newmark methods chaotic oscillations of a nanoelectromechanical system