TY  - GEN
AU  - Abrahamyan, A. S.
AU  - Mkrtchyan, A. H.
AU  - Nalbandyan, V. V.
AU  - Hovhannisyan, N. T.
AU  - Chilingaryan, R. Yu.
AU  - Hakobyan, A. S.
AU  - Mossoyan, P. H.
TI  - Cleaning and sputtering using planar acoustoplasma magnetron
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
KW  - распыление
KW  - магнетроны
KW  - плазма
KW  - технологии
N2  - [References: p. 13 (17 tit.)]
UR  - http://www.ojs.tpu.ru/index.php/res-eff/article/view/197/183
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51444
UR  - https://doi.org/10.18799/24056537/2018/3/197
ER  -