TY - BOOK AU - Koleda, A. N. AU - Barbin, E. S. AU - Nesterenko, T. G. ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) TI - Three-component microelectromechanical accelerometer KW - труды учёных ТПУ KW - электродная структура KW - макромодели KW - микромеханические акселерометры KW - модальный анализ N2 - [References: 5 tit.] ER -