TY  - GEN
AU  - Lazarev, A. V.
AU  - Andreeva, M. A.
AU  - Smirnova, U. A.
ED  - ÐÐ°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð°Ð»ÑÐ½ÑÐ¹ Ð¸ÑÑÐ»ÐµÐ´Ð¾Ð²Ð°ÑÐµÐ»ÑÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¢Ð¾Ð¼ÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¿Ð¾Ð»Ð¸ÑÐµÑÐ½Ð¸ÑÐµÑÐºÐ¸Ð¹ ÑÐ½Ð¸Ð²ÐµÑÑÐ¸ÑÐµÑ (Ð¢ÐÐ£)
ED  - ÐÐ°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð°Ð»ÑÐ½ÑÐ¹ Ð¸ÑÑÐ»ÐµÐ´Ð¾Ð²Ð°ÑÐµÐ»ÑÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¢Ð¾Ð¼ÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¿Ð¾Ð»Ð¸ÑÐµÑÐ½Ð¸ÑÐµÑÐºÐ¸Ð¹ ÑÐ½Ð¸Ð²ÐµÑÑÐ¸ÑÐµÑ (Ð¢ÐÐ£)
TI  - Magnetron sputtering system
T2  - Ð Ð°Ð´Ð¸Ð°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð½ÑÐµ Ð¸ Ð¿ÑÑÐºÐ¾Ð²Ð¾-Ð¿Ð»Ð°Ð·Ð¼ÐµÐ½Ð½ÑÐµ ÑÐµÑÐ½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ð¸ Ð² Ð½Ð°ÑÐºÐµ, ÑÐµÑÐ½Ð¸ÐºÐµ Ð¸ Ð¼ÐµÐ´Ð¸ÑÐ¸Ð½Ðµ
KW  - ÑÑÑÐ´Ñ ÑÑÑÐ½ÑÑ Ð¢ÐÐ£
KW  - ÑÐ»ÐµÐºÑÑÐ¾Ð½Ð½ÑÐ¹ ÑÐµÑÑÑÑ
KW  - Ð¼Ð°Ð³Ð½ÐµÑÑÐ¾Ð½Ð½Ð¾Ðµ ÑÐ°ÑÐ¿ÑÐ»ÐµÐ½Ð¸Ðµ
KW  - ÑÐ¾Ð½ÐºÐ¾Ð¿Ð»ÐµÐ½Ð¾ÑÐ½ÑÐµ Ð¿Ð¾ÐºÑÑÑÐ¸Ñ
N2  - [ÐÐ¸Ð±Ð»Ð¸Ð¾Ð³Ñ.: Ñ. 210 (2 Ð½Ð°Ð·Ð².)]
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438
UR  - http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/178.pdf
ER  -