TY  - GEN
AU  - Volkov, N.
AU  - Yashin, A.
AU  - Kalin, B.
AU  - Valikov, R.
AU  - Krivobokov, V. P.
AU  - Yanin, S. N.
AU  - Yuriev, Yu. N.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Analysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
KW  - магнетроны
KW  - трубчатые образцы
KW  - модификация
KW  - поверхности
KW  - пучки
KW  - ионы
KW  - распыление
KW  - тонкие пленки
KW  - ion beam
KW  - magnetron
KW  - sputtering
KW  - thin films
KW  - modification
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35828
ER  -