TY  - GEN
AU  - Parfenova, E. S.
AU  - Knyazeva, A. G.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - The mathematical model of the initial stage of surface treatment with particle flux
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
KW  - математические модели
KW  - поверхности
KW  - потоки частиц
KW  - ионная имплантация
KW  - диффузия
KW  - механические напряжения
KW  - mathematical model
KW  - ion implantation
KW  - diffusion
KW  - mechanical stress
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35832
ER  -