TY  - GEN
AU  - Sutygina, A. N.
AU  - Kashkarov, E. B.
AU  - Shulepov, I. A.
AU  - Nikitenkov, N. N.
AU  - Pryamushko, T. S.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - The phase and elemental co mposition of fil tered arc evaporated TiAlN coatings using separate cathodes
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
KW  - элементный состав
KW  - покрытия
KW  - катоды
KW  - дуги
KW  - вакуумно-дуговое осаждение
KW  - фазовый состав
KW  - elemental distribution
KW  - vacuum arc deposition
KW  - phase composition
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35861
ER  -