TY  - GEN
AU  - Bestetti, M.
AU  - Vicenzo, A.
AU  - Franz, S.
AU  - Francesca Brunella, M.
AU  - Sidelev, D. V.
AU  - Bleykher, G. A.
AU  - Krivobokov, V. P.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - A comparative study on the properties of chromium coatings deposited by agnetron sputtering with hot and cooled cathode
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
KW  - сравнительные исследования
KW  - хромовые покрытия
KW  - магнетронное распыление
KW  - холодные катоды
KW  - выпаривание
KW  - осаждение
KW  - magnetron sputtering
KW  - hot target
KW  - evaporation
KW  - chromium
KW  - high deposition rate
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35862
ER  -