TY  - GEN
AU  - Evdokimov, K. E.
AU  - Konishchev, M. E.
AU  - Pichugin, V. F.
AU  - Sun, Z.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - магнетронная плазма
KW  - оптическая спектроскопия
KW  - азот
KW  - столкновительно-излучательные процессы
KW  - магнетронные разряды
KW  - газовые смеси
KW  - пространственная неоднородность
KW  - низкотемпературная плазма
KW  - характеристики
N2  - [Библиогр.: с. 66 (6 назв.)]
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57752
ER  -