TY  - ELEC
AU  - Piestrup, M. A.
AU  - Powell, M. W.
AU  - Cremer, J. T.
AU  - Lombardo, L. W.
AU  - Kaplin, V. V.
AU  - Uglov, S. R.
AU  - Zabaev, V. N.
AU  - Skopik, D. M.
AU  - Silzer, R. M.
AU  - Retzlaff, G. A.
AU  - Mikhalchuk, A. A.
TI  - Compact recycled beam source for XRL and EUVL exposure tools
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
N2  - [Ref.: p. 462-463 (23 tit.)]
UR  - http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=940891
ER  -