TY  - ELEC
AU  - Kabyshev, A. V.
AU  - Konusov, F. V.
AU  - Remnev, G. E.
ED  - ÐÐ°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð°Ð»ÑÐ½ÑÐ¹ Ð¸ÑÑÐ»ÐµÐ´Ð¾Ð²Ð°ÑÐµÐ»ÑÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¢Ð¾Ð¼ÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¿Ð¾Ð»Ð¸ÑÐµÑÐ½Ð¸ÑÐµÑÐºÐ¸Ð¹ ÑÐ½Ð¸Ð²ÐµÑÑÐ¸ÑÐµÑ (Ð¢ÐÐ£)
ED  - ÐÐ°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð°Ð»ÑÐ½ÑÐ¹ Ð¸ÑÑÐ»ÐµÐ´Ð¾Ð²Ð°ÑÐµÐ»ÑÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¢Ð¾Ð¼ÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¿Ð¾Ð»Ð¸ÑÐµÑÐ½Ð¸ÑÐµÑÐºÐ¸Ð¹ ÑÐ½Ð¸Ð²ÐµÑÑÐ¸ÑÐµÑ (Ð¢ÐÐ£)
ED  - ÐÐ°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð°Ð»ÑÐ½ÑÐ¹ Ð¸ÑÑÐ»ÐµÐ´Ð¾Ð²Ð°ÑÐµÐ»ÑÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¢Ð¾Ð¼ÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¿Ð¾Ð»Ð¸ÑÐµÑÐ½Ð¸ÑÐµÑÐºÐ¸Ð¹ ÑÐ½Ð¸Ð²ÐµÑÑÐ¸ÑÐµÑ (Ð¢ÐÐ£)
TI  - High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
KW  - ÑÐ»ÐµÐºÑÑÐ¾Ð½Ð½ÑÐ¹ ÑÐµÑÑÑÑ
KW  - ÑÑÑÐ´Ñ ÑÑÑÐ½ÑÑ Ð¢ÐÐ£
KW  - Ð¿Ð¾Ð»Ð¸ÐºÑÐ¸ÑÑÐ°Ð»Ð»Ð¸ÑÐµÑÐºÐ¸Ð¹ ÐºÑÐµÐ¼Ð½Ð¸Ð¹
KW  - Ð¸Ð¾Ð½Ñ
KW  - Ð¸Ð¼Ð¿Ð»Ð°Ð½ÑÐ°ÑÐ¸Ñ
KW  - ÑÐ²ÐµÑÐ¾ÑÑÐ²ÑÑÐ²Ð¸ÑÐµÐ»ÑÐ½Ð¾ÑÑÑ
KW  - ÑÐ°Ð´Ð¸Ð°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð½ÑÐµ Ð´ÐµÑÐµÐºÑÑ
KW  - Ð²Ð°ÐºÑÑÐ¼Ð½ÑÐ¹ Ð¾ÑÐ¶Ð¸Ð³
N2  - [Ref.: p. 61 (24 tit.)]
UR  - http://elibrary.ru/item.asp?id=19015552
ER  -