TY - ELEC AU - Kabyshev, A. V. AU - Konusov, F. V. AU - Remnev, G. E. ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) TI - Thermal and chemical passivation of gallium-arsenide films deposited from ablation plasma KW - электронный ресурс KW - труды учёных ТПУ KW - пассивация KW - пленки KW - арсенид галлия KW - абляционная плазма N2 - [Ref.: p. 163 (30 tit.)] UR - http://link.springer.com/article/10.1134%2FS1027451014010285 ER -