TY  - ELEC
AU  - Knyazeva, A. G.
AU  - Shanin, S. A.
TI  - Model of the coating growth under the conditions of magnetron sputtering deposition
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - numerical simulation
KW  - численное моделирование
KW  - растущие покрытия
KW  - growing coating
N2  - [References: p. 89  (8 tit.)]
UR  - http://link.springer.com/article/10.1007%2Fs11182-010-9391-4?LI=true
ER  -