TY  - ELEC
AU  - Stepanov, I. B.
AU  - Ryabchikov, A. I.
AU  - Sivin, D. O.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Very Broad Metal Ion Beam Source for Ion Implantation and Coating Deposition Technologies
T2  - Chemistry and Physics of Materials Surface
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - катоды
KW  - ионные пучки
KW  - покрытия
UR  - http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.880.288
ER  -