TY  - ELEC
AU  - Fedorischeva, M. V.
AU  - Sergeev, V. P.
AU  - Kalashnikov, M. P.
AU  - Voronov, A. V.
ED  - ÐÐ°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð°Ð»ÑÐ½ÑÐ¹ Ð¸ÑÑÐ»ÐµÐ´Ð¾Ð²Ð°ÑÐµÐ»ÑÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¢Ð¾Ð¼ÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¿Ð¾Ð»Ð¸ÑÐµÑÐ½Ð¸ÑÐµÑÐºÐ¸Ð¹ ÑÐ½Ð¸Ð²ÐµÑÑÐ¸ÑÐµÑ (Ð¢ÐÐ£)
ED  - ÐÐ°ÑÐ¸Ð¾Ð½Ð°Ð»ÑÐ½ÑÐ¹ Ð¸ÑÑÐ»ÐµÐ´Ð¾Ð²Ð°ÑÐµÐ»ÑÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¢Ð¾Ð¼ÑÐºÐ¸Ð¹ Ð¿Ð¾Ð»Ð¸ÑÐµÑÐ½Ð¸ÑÐµÑÐºÐ¸Ð¹ ÑÐ½Ð¸Ð²ÐµÑÑÐ¸ÑÐµÑ (Ð¢ÐÐ£)
TI  - Internal stresses and structure of multilayer coatings on the basis of Zr-Y-O/Si-Al-N
KW  - ÑÐ»ÐµÐºÑÑÐ¾Ð½Ð½ÑÐ¹ ÑÐµÑÑÑÑ
KW  - ÑÑÑÐ´Ñ ÑÑÑÐ½ÑÑ Ð¢ÐÐ£
KW  - Ð²Ð½ÑÑÑÐµÐ½Ð½ÐµÐµ Ð½Ð°Ð¿ÑÑÐ¶ÐµÐ½Ð¸Ðµ
KW  - Ð¼Ð½Ð¾Ð³Ð¾ÑÐ»Ð¾Ð¹Ð½ÑÐµ Ð¿Ð¾ÐºÑÑÑÐ¸Ñ
KW  - ÑÐ°Ð·Ð¾Ð²ÑÐ¹ ÑÐ¾ÑÑÐ°Ð²
KW  - ÑÐ»Ð¾Ð¸
KW  - ÑÐµÐ½ÑÐ³ÐµÐ½Ð¾Ð²ÑÐºÐ¸Ðµ Ð¸ÑÑÐ»ÐµÐ´Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ
KW  - ÐÐ­Ð
KW  - Ð¿ÑÐ¾ÑÐ²ÐµÑÐ¸Ð²Ð°ÑÑÐ°Ñ ÑÐ»ÐµÐºÑÑÐ¾Ð½Ð½Ð°Ñ Ð¼Ð¸ÐºÑÐ¾ÑÐºÐ¾Ð¿Ð¸Ñ
N2  - [References: p. 150 (14 tit.)]
UR  - http://dx.doi.org/10.1063/1.4898904
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35688
ER  -