TY  - ELEC
AU  - Umnov, S. P.
AU  - Asainov, O. Kh.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Change Spectrum Characteristics Modification of Films Deposited by Magnetron Sputtering with the Assistance of Argon Ions Beam
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - спектры
KW  - пленки
KW  - магнетронное распыление
KW  - ионы аргона
KW  - просвечивающая электронная микроскопия
KW  - рентгеновская дифрактометрия
N2  - [References: 11 tit.]
UR  - http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/81/1/012001
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14685
ER  -