TY  - ELEC
AU  - Asainov, O. Kh.
AU  - Umnov, S. P.
AU  - Chinin, A.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Magnetron deposition of TCO films using ion beam
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - электронный ресурс
KW  - магнетронное осаждение
KW  - ионные пучки
KW  - тонкие пленки
KW  - магнетронные напыления
KW  - оптические свойства
KW  - рентгеновские лучи
KW  - дифракция
KW  - кристаллические структуры
N2  - [References: 12 tit.]
UR  - http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/652/1/012046
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/18225
ER  -