TY - ELEC AU - Remnev, G. E. AU - Opekunov, M. S. AU - Vasil'ev, V. V. AU - Lukonin, E. I. AU - Matvienko, V. M. AU - Furman, E. G. TI - A high-current ion accelerator for short-pulse ion implantation KW - электронный ресурс KW - труды учёных ТПУ N2 - [References: 23 tit.] UR - http://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-0039540033&origin=inward&txGid=0 ER -